๋๊ตญ์์
๋๊ตญ๋ ๊น์ฑ์ค ์ฐ๊ตฌํ, 3D ์์งํ ๊ฐ์ ์ ์ฒด ์ปคํจ์ํฐ ๊ฐ๋ฐ
- ๊ฐ์ ์ ์ฒด ์์ง์ ์ธต ๋ฉ๋ชจ๋ฆฌ๋ก ๋ด๊ตฌ์ฑ ์
์ฆ… ์ ์ ๋ ฅ·๊ณ ์ง์ ์ฐจ์ธ๋๋ฉ๋ชจ๋ฆฌ ๊ฐ๋ฅ์ฑ ์ ๋ณด์ฌ
- ๊น์ฑ์ค ์ฐ๊ตฌํ, “100๋ง ๋ฒ ์ฌ์ดํด์๋ ์์ ์ ์๋, ๋ฐ์ดํฐ 10๋
์ด์ ์ ์ง ๊ฐ๋ฅํด”
- ๋๋
ธ๊ธฐ์ ๋ถ์ผ ์ ๋ช
๊ตญ์ ํ์ ์ง ‘Nano Letters’ ์ต์ ํ ์จ๋ผ์ธ ๊ฒ์ฌ
๋๊ตญ๋ถฤว๊๊ต ์ ์์ ๊ธฐ๊ณตํ๊ณผ ๊น์ฑ์ค ๊ต์(๊ต์ ์ ์), ์์์ง ์์ฌ, ๋ฐ์ฉ์ง ์์ฌ(๊ณต๋ ์ 1์ ์)๋ก ๊ตฌ์ฑ๋ ์ฐ๊ตฌํ์ด ์์ง์ ์ธต ๊ฐ์ ์ ์ฒด ๋ฉ๋ชจ๋ฆฌ ์์๋ฅผ ๊ฐ๋ฐํ๊ณ , ๊ด๋ จ ๋ ผ๋ฌธ์ด ๋๋ ธ ๋ถ์ผ ๊ตญ์ ํ์ ์ง ใNano Lettersใ์ ์จ๋ผ์ธ ๊ฒ์ฌ๋๋ค๊ณ ๋ฐํ๋ค.
๊ธฐ์กด 2D ํ๋ฉด ๋ฉ๋ชจ๋ฆฌ ๊ตฌ์กฐ์ ๊ฒฝ์ฐ ๊ณต๊ฐ ํจ์จ์ฑ์ด ๋ฎ์ ๋๊ท๋ชจ ๋ฐ์ดํฐ๋ฅผ ์ ์ํ๊ฒ ์ฒ๋ฆฌํ๋ ๋ฐ ํ๊ณ๊ฐ ์์๋ค. ์ด๋ฅผ ํด๊ฒฐํ๊ธฐ ์ํด์ ์ฐ๊ตฌํ์ ๊ฐ์ ์ ์ฒด ์ปคํจ์ํฐ์ ์์งํ ๊ตฌ์กฐ๋ฅผ ์ ์ฉํ์ผ๋ฉฐ, ์ด๋ ์ผ์ฑ์ ์์ GAA(Gate-All-Around) ๊ตฌ์กฐ ํธ๋์ง์คํฐ์์ ์๊ฐ์ ๋ฐ์ ๊ฒ์ผ๋ก ์๋ ค์ก๋ค. ๋ํ, ๋ฉ๋ชจ๋ฆฌ ์ง์ ๋๊ฐ ๋์์ง๋ฉด์๋ ๊ฐ์ ์ ์ฒด ํน์ ์ ๋์ ์ ๋ขฐ์ฑ๊ณผ ์ ์ ๋ ฅ ๋์์ ์ ์งํ๋ ๋ฐ ์ฑ๊ณตํ๋ค๊ณ ์ ํ๋ค.
์ฐ๊ตฌํ์ ์์ง์ ์ธต ๊ตฌ์กฐ์ ๊ฐ์ ์ ์ฒด ์ปคํจ์ํฐ์ ๋ฐ์ด๋ ๋ด๊ตฌ์ฑ๊ณผ ๋นํ๋ฐ์ฑ์ ๊ฐ์กฐํ๋ฉฐ, “100๋ง ๋ฒ ์ด์์ ์ฌ์ดํด ๋์ ์์ ์ ์ผ๋ก ์๋ํ๊ณ , ๋ฐ์ดํฐ๋ฅผ 10๋ ์ด์ ์ ์งํ ์ ์๋ค”๋ผ๊ณ ๋ง๋ถ์๋ค. ๋ํ, ๋ฌด์์ ์ ํ ์คํธ๋ก ์ฅ์น ๊ฐ ๋ณ๋์ฑ์ด ๋ฎ๋ค๋ ์ฌ์ค์ ํ์ธํด ๋์ ์ ๋ขฐ์ฑ์ ํ๋ณดํ์ผ๋ฉฐ, ์ด ํน์ฑ๋ค์ด FRAM(ferroelectric random access memory)๊ณผ ๊ฐ์ ์ค์ฉ์ ์ธ ๋ฉ๋ชจ๋ฆฌ ์์ฉ์ ์ ํฉํ๋ค๋ ๊ฒ์ ์ฆ๋ช ํ๋ค.
๊น์ฑ์ค ๊ต์๋ “๊ณต๋ 1์ ์ ํ์๋ค์ด ๊ธฐ์กด ํ๋ฉด ๊ฐ์ ์ ์ฒด ๋ฉ๋ชจ๋ฆฌ์ ์ฐจ๋ณํ๋ ์์ง ์ ์ธต ๊ตฌ์กฐ์ Mask layout์ ์ง์ ์ค๊ณํ๊ณ MINT fab ์ฅ๋น๋ฅผ ํ์ฉํ์ฌ ์์๋ฅผ ์ ์ํ๋ค”๊ณ ๋ฐํ๋ค. ์ด์ด, “๊ฐ์ ์ ์ฒด์ ๋ชจ๋ ๋ฉด์ ์ ๊ทน์ผ๋ก ์์ ํ ๊ฐ์ธ๋ ์๋ก์ด ๋ฐฉ์์ ์ ์ํ ๊ฒ”์ด๋ผ๋ฉฐ, “์ด๋ฒ ์ฑ๊ณผ๋ ํฅํ ์ ์ ๋ ฅ ๋ฐ ๊ณ ์ง์ ์ด ์๊ตฌ๋๋ ์ธ๊ณต์ง๋ฅ(AI) ๋ฐ๋์ฒด ์์คํ ๊ตฌํ์ ํ์ฉ๋ ์ ์์ ๊ฒ”์ด๋ผ๊ณ ๊ธฐ๋๊ฐ์ ๋ํ๋๋ค.
์ด๋ฒ ์ฐ๊ตฌ ๊ฒฐ๊ณผ๋ <3D Vertical Ferroelectric Capacitors with Excellent Scalability>๋ผ๋ ์ ๋ชฉ์ผ๋ก ๋๋ ธ๊ธฐ์ ๋ถ์ผ ์ ๋ช ๊ตญ์ ํ์ ์ง ใNano Letters (IF=9.627)ใ์ 25๋ 1์ ์จ๋ผ์ธ์ ๊ฒ์ฌ๋๋ค.
ํํธ, ๋ณธ ์ฐ๊ตฌ๋ ํ๊ตญ์ฐ๊ตฌ์ฌ๋จ์ ์ค๊ฒฌ์ฐ๊ตฌ ์ฌ์ "์ถ์ ์ปดํจํ ๊ตฌํ์ ์ํ ๋ฆฌํ ์ ์กฐ์ ๊ฐ๋ฅํ ํํ๋ ๊ธฐ๋ฐ ๊ฐ์ ์ ์ฒด ์์ ๊ธฐ์ ๋ฐ ์์ง์ ์ธต ์ง์ ๊ณต์ ๊ฐ๋ฐ" ๋ฐ ์ฐจ์ธ๋์ง๋ฅํ๋ฐ๋์ฒด๊ธฐ์ ๊ฐ๋ฐ(์์)์ฌ์ (์ ์์์์ฒ๊ธฐ์ ๊ฐ๋ฐ) “์จ์นฉ ํ์ต์ ์ํ ์ ํ ์ ์ฅ ๊ธฐ๋ฐ์ ๊ณ (้ซ)์ง์ ·์ ์ ๋ ฅ·๋นํ๋ฐ์ฑ 3์ฐจ์ ์์งํ ์๋ ์ค ์ด๋ ์ด ๋ฐ ์ํคํ ์ฒ ๊ฐ๋ฐ"์ ์ง์์ ๋ฐ์ ์ํ๋๋ค.
[๊ด๋ จ๊ธฐ์ฌ ๋ณด๊ธฐ] ๋๊ตญ๋ ๊น์ฑ์ค ์ฐ๊ตฌํ, 3D ์์งํ ๊ฐ์ ์ ์ฒด ์ปคํจ์ํฐ ๊ฐ๋ฐ